KTP-H1601采用高可靠性磁悬浮结构设计，具备快速升降速及高稳定性运行能力，适用于科研、离子注入、PVD、ALD、Etch及CVD等高负载真空工艺环境。
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面向先进半导体工艺的高可靠性真空解决方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-H800 | KTP-H1601 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO160 | ISO200 |
| 出气端 | KF40 | ||
| 吹扫口 | KF10 | ||
| 冷却水接口 | RC1/4 | ||
|
额定转速（r/min） |
36500 | ||
| 抽速（L/s） | N2 | 850 | 1600 |
| He | 800 | 1500 | |
| Ar |
830 |
1550 | |
| 压缩比 | N2 | 3.0x108 | |
| He | 2.0x104 | ||
| Ar | 2.0x108 | ||
| 极限压强 (Pa) | 1.0x10-7 | ||
|
最大入口压力（Pa） |
45 | ||
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最大出口压力（Pa） |
350 | ||
| 跌落转速 (r/min) | 6000 | ||
| 额定功率 (W) | 1500 | ||
|
启动压力（Pa） |
2000 | ||
| 升速时间 (min) | ＜9 | ||
| 降速时间 (min) | ＜9 | ||
| 安装角度 (°) | 任意角度 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 振动 (㎛) | ＜0.01 | ||
| 噪声 (dB) | ＜60 | ||
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控制器类型 |
分体式 | ||
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控制线长度（m） |
任意可选 | ||
| 质量(kg) | 38 | 40 | |
| 推荐前级泵抽速（L/s） |
3-10 |
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