磁悬浮分子泵用于获得超高真空环境，主要用于半导体生产中镀膜、刻蚀与离子注入工艺，光伏发电中太阳能薄膜电池的制造以及高分辨率质谱仪等科学仪器。KTP-600/1000磁悬浮分子泵是耐腐蚀涡轮分子泵，内部经特殊工艺处理，具有抗腐蚀性气体的能力。
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国产全磁悬浮600-1000L/s分子泵
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-600 | KTP-1000 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO160 | ISO200B |
| 出气端 | KF25 | ||
| 吹扫口 | KF10/KF16 | ||
|
额定转速（r/min） |
36000 | ||
| 抽速（L/s） | N2 | 650 | 1050 |
| He | 760 | 980 | |
| Ar | 580 | 930 | |
| 压缩比 | N2 |
1.0x108 |
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| He |
1.0x104 |
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| Ar |
1.0x108 |
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| 极限压强 (Pa) | 10-8 | ||
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最大入口压力（Pa） |
120 | ||
|
最大出口压力（Pa） |
350 | ||
| 跌落转速 (r/min) | 6000 | ||
| 额定功率 (W) | 1500 | ||
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启动压力（Pa） |
2000 | ||
| 升速时间 (min) | ＜7 | ||
| 降速时间 (min) | ＜7 | ||
| 加热温度（℃） |
＜120 |
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| 安装角度 (°) | 任意角度 | ||
| 冷却方式 | 风冷 | ||
| 吹扫氮气流量要求（mL/min） | 10 | ||
| 振动 (㎛) | 0.01 | ||
| 噪声 (dB) | ＜60 | ||
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控制器类型 |
分体式 | ||
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控制线长度（m） |
任意可选 | ||
| 质量(kg) |
28 |
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| 推荐前级泵抽速（L/s） |
3-10 |
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