国产全磁悬浮240L/s分子泵
产品介绍

磁悬浮分子泵用于获得超高真空环境,主要用于半导体生产中镀膜、刻蚀与离子注入工艺,光伏发电中太阳能薄膜电池的制造以及高分辨率质谱仪等科学仪器。KTP-240磁悬浮分子泵主要应用于高能物理研究、高分辨率质谱分析仪、表面分析仪、电子显微镜以及其他需要洁净高真空环境的科研设备中。


产品特点


产品参数表

分子泵型号 KTP-240
法兰尺寸 进气端 ISO100/CF100
出气端 KF25/KF16
额定转速(r/min)
6000
抽速(L/s) N2 240
He 220
Ar 300
压缩比 N2 1.0x1010
He 2.0x105
Ar 2.0x1010
极限压强 (Pa) 2.0x10-7
最大瞬时入口压力(Pa) 0.5
最大瞬时出口压力(Pa)
120
跌落转速 (rpm) 10000
额定功率(W) 240
启动压力(Pa) 2000
升速时间 (min) <5
降速时间 (min) <7
安装角度 (°) 任意角度
冷却方式 风冷
振动 (㎛) <0.007
噪声 (dB) <53
控制器类型 一体式
控制线长度 任意可选
质量(kg) 8
推荐前级泵抽速(L/s) 3-10



  • KTP-0240数模
  • KTP-0240说明书

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