磁悬浮分子泵用于获得超高真空环境,主要用于半导体生产中镀膜、刻蚀与离子注入工艺,光伏发电中太阳能薄膜电池的制造以及高分辨率质谱仪等科学仪器。KTP-240磁悬浮分子泵主要应用于高能物理研究、高分辨率质谱分析仪、表面分析仪、电子显微镜以及其他需要洁净高真空环境的科研设备中。
磁悬浮分子泵用于获得超高真空环境,主要用于半导体生产中镀膜、刻蚀与离子注入工艺,光伏发电中太阳能薄膜电池的制造以及高分辨率质谱仪等科学仪器。KTP-240磁悬浮分子泵主要应用于高能物理研究、高分辨率质谱分析仪、表面分析仪、电子显微镜以及其他需要洁净高真空环境的科研设备中。
| 分子泵型号 | KTP-240 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO100/CF100 |
| 出气端 | KF25/KF16 | |
|
额定转速(r/min) |
6000 | |
| 抽速(L/s) | N2 | 240 |
| He | 220 | |
| Ar | 300 | |
| 压缩比 | N2 | 1.0x1010 |
| He | 2.0x105 | |
| Ar | 2.0x1010 | |
| 极限压强 (Pa) | 2.0x10-7 | |
| 最大瞬时入口压力(Pa) | 0.5 | |
|
最大瞬时出口压力(Pa) |
120 | |
| 跌落转速 (rpm) | 10000 | |
| 额定功率(W) | 240 | |
| 启动压力(Pa) | 2000 | |
| 升速时间 (min) | <5 | |
| 降速时间 (min) | <7 | |
| 安装角度 (°) | 任意角度 | |
| 冷却方式 | 风冷 | |
| 振动 (㎛) | <0.007 | |
| 噪声 (dB) | <53 | |
| 控制器类型 | 一体式 | |
| 控制线长度 | 任意可选 | |
| 质量(kg) | 8 | |
| 推荐前级泵抽速(L/s) | 3-10 | |

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