KTP-H4503系列采用高可靠性磁悬浮结构设计，具备优异的大流量抽速能力与快速升降速性能，可满足CVD、ALD、Etch、离子注入及PVD等高负载工艺环境需求。
产品支持一体式与分体式结构配置，适用于不同工艺设备及复杂安装环境，可提升系统集成灵活性与长期运行稳定性。
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面向先进半导体制造的高流量磁悬浮真空解决方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
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分子泵型号 |
KTP-H4503WC(XI) |
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法兰尺寸 |
进气端 |
VG350/CF400 |
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出气端 |
KF40/KF50 |
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吹扫口 |
KF10 |
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冷却水接口 |
RRC1/4 |
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额定转速 (r/min) |
24000 |
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抽速 (L/s) |
N2 |
4400 |
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He |
3900 |
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Ar |
4200 |
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H2 |
2600 |
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压缩比 |
N2 |
4.8×108 |
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He |
1.0×105 |
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Ar |
1.0x1010 |
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H2 |
3.8x104 |
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极限压强 (Pa) |
＜10-7 |
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允许背压 (Pa) |
≥270 |
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最大入口压力 (Pa) |
50 |
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最大出口压力 (Pa) |
370 |
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跌落转速 (r/min) |
4800 |
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额定功率 (W) |
不加热：1500 加热：2000 |
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启动压力 (Pa) |
2000 |
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升速时间 (min) |
＜12 |
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降速时间 (min) |
＜12 |
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<工作温度 (℃) |
-15~55 |
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烘烤温度 (℃) |
≥100 |
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安装角度 |
任意角度 |
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冷却方式 |
水冷 |
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振动 (㎛) |
＜0.01 |
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噪声(dB) |
＜50 |
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控制器类型 |
分体式 |
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控制线长度 (m) |
任意可选 |
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断电保护 |
支持 |
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质量 (kg) |
107 |
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