磁悬浮分子泵用于获得超高真空环境，主要用于半导体生产中镀膜、刻蚀与离子注入工艺，光伏发电中太阳能薄膜电池的制造以及高分辨率质谱仪等科学仪器。KTP-304和KTP-454磁悬浮分子泵是耐腐蚀涡轮分子泵，内部经特殊工艺处理，具有抗腐蚀性气体的能力。
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首款国产全磁悬浮350-500L/s分子泵
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-304 | KTP-454 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO100/CF100 | CF150 |
| 出气端 | KF25/KF40 | ||
| 吹扫口 | KF10/KF16 | ||
| 冷却水接口 | 任意可选 | ||
|
额定转速（r/min） |
48000 | ||
| 抽速（L/s） | N2 | 345 | 460 |
| He | 380 | 486 | |
| Ar |
335 |
469 | |
| 压缩比 | N2 | 4.0x107 | 5.0x107 |
| He | 2.0x104 | \ | |
| Ar | 4.0x107 | \ | |
| 极限压强 (Pa) | ≤5x10-7 | ||
|
最大入口压力（Pa） |
200 | ||
|
最大出口压力（Pa） |
800 | ||
| 跌落转速 (r/min) | 9000 | ||
| 额定功率 (W) | 650 | ||
|
启动压力（Pa） |
2000 | ||
| 升速时间 (min) | ＜4 | ||
| 降速时间 (min) | ＜5 | ||
| 加热温度（℃） |
＜120 |
||
| 安装角度 (°) | 任意角度 | ||
| 冷却方式 | 水冷/风冷 | ||
| 冷却水流量要求（L/min） | 3 | ||
| 冷却水压力要求MPa（kgf/cm2） | 0.3（3） | ||
| 冷却水温度要求（℃） | 18-25 | ||
| 吹扫氮气流量要求（mL/min） | 30 | ||
| 振动 (㎛) | 0.01 | ||
| 噪声 (dB) | ＜60 | ||
|
控制器类型 |
分体式 | ||
|
控制线长度（m） |
任意可选 | ||
| 质量(kg) | 16 | 18 | |
| 推荐前级泵抽速（L/s） |
3-10 |
||
