磁悬浮分子泵用于获得超高真空环境，主要用于半导体生产中镀膜、刻蚀与离子注入工艺，光伏发电中太阳能薄膜电池的制造以及高分辨率质谱仪等科学仪器。KTP-2801/KTP-3301磁悬浮分子泵是耐腐蚀涡轮分子泵，内部经特殊工艺处理，具有抗腐蚀性气体的能力。
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国产全磁悬浮2800-3300L/s分子泵
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-2801 | KTP-3301 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO250B | VG350/ISO320 |
| 出气端 | KF40 | ||
| 吹扫口 | KF10 | ||
|
额定转速（r/min） |
27600 | ||
| 抽速（L/s） | N2 | 2550 | 3200 |
| He | 2670 | 3100 | |
| Ar | 2350 | 3100 | |
| 压缩比 | N2 |
1.0x109 |
|
| He |
1.0x105 |
||
| Ar |
1.0x109 |
||
| 极限压强 (Pa) | 10-7 | ||
|
最大入口压力（Pa） |
40 | ||
|
最大出口压力（Pa） |
350 | ||
| 跌落转速 (r/min) | 4800 | ||
| 额定功率 (W) | 1500 | ||
|
启动压力（Pa） |
2000 | ||
| 升速时间 (min) | ＜12 | ||
| 降速时间 (min) | ＜16 | ||
| 加热温度（℃） | -，65，75 | ||
| 安装角度 (°) | 任意角度 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 水冷接口 | Rc1/4 | ||
| 冷却水流量要求（L/min） | 2-4 | ||
| 冷却水压力要求MPa（kgf/cm2） | 0.2-0.5 | ||
| 冷却水温度要求（℃） | 5-25 | ||
| 吹扫氮气流量要求（mL/min） | 30 | ||
| 振动 (㎛) | ＜0.01 | ||
| 噪声 (dB) | ＜60 | ||
|
控制器类型 |
分体式 | ||
|
控制线长度（m） |
任意可选 | ||
| 质量(kg) | 76 | 80 | |
