KTP-H600与KTP-H1000采用紧凑型轻量化结构设计，具备高抽速性能与快速升速能力，可满足先进真空工艺设备对稳定性、空间适配性及系统集成效率的需求。
产品适用于Transfer、科研、PVD及ALD等多类真空工艺场景，能够在复杂工况下实现长期稳定运行。
首页 - 产品介绍
轻量化高抽速磁悬浮真空解决方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-H600 | KTP-H1000 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO160 | ISO200 |
| 出气端 | KF25 | ||
| 吹扫口 | KF10/KF16 | ||
| 冷却水接口 | RC1/4 | ||
|
额定转速（r/min） |
36000 | ||
| 抽速（L/s） | N2 | 650 | 1050 |
| He | 760 | 980 | |
| Ar |
580 |
930 | |
| 压缩比 | N2 | 1.0x108 | 1.0x108 |
| He | 1.0x104 | 1.0x104 | |
| Ar | 1.0x108 | 4.0x108 | |
| 极限压强 (Pa) | 1.0x10-7 | ||
|
最大入口压力（Pa） |
120 | ||
|
最大出口压力（Pa） |
350 | ||
| 跌落转速 (r/min) | 6000 | ||
| 额定功率 (W) | 1500 | ||
|
启动压力（Pa） |
2000 | ||
| 升速时间 (min) | ＜7 | ||
| 降速时间 (min) | ＜7 | ||
| 安装角度 (°) | 任意角度 | ||
| 冷却方式 | 水冷/风冷 | ||
| 振动 (㎛) | 0.01 | ||
| 噪声 (dB) | ＜60 | ||
|
控制器类型 |
分体式 | ||
|
控制线长度（m） |
任意可选 | ||
| 质量(kg) | 28 | 30 | |
| 推荐前级泵抽速（L/s） |
3-10 |
||
