国产全磁悬浮600-1000L/s分子泵
产品介绍
KTP-600/1000磁悬浮分子泵采用五轴全磁轴承主动控制,实现高转速、大抽速,并具有无油,低噪声,长寿命的优势。

产品特点


产品参数表
分子泵型号 KTP-600 KTP-1000
法兰尺寸 进气端 ICF160 CF200
出气端 KF25
吹扫口 KF10/KF16
额定转速(r/min)
36000
抽速

N2

590 1050
Ar 530 930
压缩比

N2

1x108 
He 1x104 
Ar 1x108 
极限真空 (Pa) 10-6 
最大入口压力(Pa)
400
最大出口压力(Pa)
1200
跌落转速 (r/min) 6000
额定功率 (W) 1000
启动压力(Pa)
2000
升速时间 (min) <7
降速时间 (min) <7
安装角度 (°) 任意角度安装
冷却方式 风冷
振动 (㎛) 0.01
噪声 (dB) <60
控制器类型
分体式
控制线长度
任意可选
质重 (kg) 28



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