KTP-iR90系列采用全主动磁悬浮技术，实现无接触运行与高稳定性控制，适用于EUV光刻、量测、分子束外延及先进封装等高精度真空工艺场景。
产品具备低振动、无油运行及高精度转速控制能力，可满足先进半导体制造对高洁净、高稳定性真空环境的需求。
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面向EUV光刻与高精度量测的低振动真空解决方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-iR90 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO-K63/ISO-F63/KF40/CF63 |
| 出气端 | KF16 | |
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额定转速(r/min) |
90000 |
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| 抽速（L/s） | N2 | 116 |
| He | 87 | |
| Ar | 124 | |
| 压缩比 | N2 | 3.0x108 |
| He | 8.0x103 | |
| Ar | 6.0x108 | |
| 极限压强 (Pa) | ≤5x10-6 | |
| 最大入口压力（Pa） | 1.1 | |
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最大出口压力（Pa） |
680 | |
| 跌落转速 (rpm) | 14000 | |
| 额定功率（W） | 190 | |
| 启动压力（Pa） | <500 | |
| 升速时间 (min) | <4 | |
| 降速时间 (min) | <5 | |
| 安装角度 (°) | 任意角度 | |
| 冷却方式 | 自然冷却/风冷 | |
| 振动 (㎛) | ＜0.01 | |
| 噪声 (dB) | ＜60 | |
| 控制器类型 | 一体式 | |
| 控制线长度 | 任意可选 | |
| 质量(kg) | 3.8 | |
| 推荐前级泵抽速（L/s） | 3-10 | |
