产品介绍
KTP-H811采用独立温控单元,牵引级与出气口双区独立加热,有效防止反应物沉积,保障高温工艺下长期稳定运行。高可靠性磁悬浮结构设计,具备快速升降速及高稳定性运行能力,适用于刻蚀、离子注入、薄膜沉积等高负载真空工艺环境。

产品特点


产品参数表
分子泵型号 KTP-H811
法兰尺寸 进气端 ISO160-F
出气端 KF40
吹扫口 KF10
额定转速(r/min) 28000
抽速(L/s) N2 660
He 450
Ar 580
压缩比 N2 2.5×107
He 2.8×102
Ar 6.7×106
极限压强 (Pa) 10-7
最大入口压力(Pa) 370
最大出口压力(Pa) 1800
跌落转速 (r/min) 6000
额定功率 (W) 不加热:1000
加热:2100
启动压力(Pa) 120
升速时间 (min) <5
降速时间 (min) <6
温度设定(℃) 牵引级 80/100/120
出气口 80/100/120
水冷 水冷连接方式 Rc1/4
冷却水流量要求(L/min) 2
冷却水压力要求 MPa(kgf/cm2 0.3(3)
冷却水温度要求(℃) 15-25
冷却水水质要求 非腐蚀性;工业用水固体颗粒大小(最大):0.025 mm2
pH 值(25摄氏度):6.5-8.2
电导率(25摄氏度):100-800 μS/cm(电阻率:1250-10000 Ω·cm)
吹扫氮气流量要求(mL/min) 20
振动 (㎛) <0.01
噪声 (dB) <60
控制器类型 分体式
控制线长度 任意可选
质量(kg) 48

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