磁悬浮分子泵用于获得超高真空环境，主要用于半导体生产中镀膜、刻蚀与离子注入工艺，光伏发电中太阳能薄膜电池的制造以及高分辨率质谱仪等科学仪器。KTP-1601磁悬浮分子泵是耐腐蚀涡轮分子泵，内部经特殊工艺处理，具有抗腐蚀性气体的能力。
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国产全磁悬浮1600L/s分子泵
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-1600 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISOF-200 |
| 出气端 | KF40 | |
| 吹扫口 | KF10/KF16 | |
| 冷却水接口 | PC10快接插头/ RC1/4 / NPT1/4 | |
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额定转速（r/min） |
36500 | |
| 抽速（L/s） | N2 | 1600 |
| He | 1560 | |
| Ar | 1500 | |
| 压缩比 | N2 | 2.0×108 |
| He | 1.0×104 | |
| Ar | 4.0x108 | |
| 极限压强 (Pa) | 10-7 | |
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最大入口压力（Pa） |
45 | |
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最大出口压力（Pa） |
350 | |
| 跌落转速 (r/min) | 6000 | |
| 额定功率 (W) | 1500 | |
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启动压力（Pa） |
2000 | |
| 升速时间 (min) | ＜9 | |
| 降速时间 (min) | ＜9 | |
| 安装角度 (°) | 任意角度 | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 冷却水流量要求（L/min） | 2 | |
| 冷却水压力要求MPa（kgf/cm2） | 0.3（3） | |
| 冷却水温度要求（℃） | 5-25 | |
| 吹扫氮气流量要求（mL/min） | 50 | |
| 振动 (㎛) | 0.01 | |
| 噪声 (dB) | ＜60 | |
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控制器类型 |
分体式 | |
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控制线长度（m） |
任意可选 | |
| 质量(kg) | 48 | |
| 推荐前级泵抽速（L/s） |
3-10 |
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