KTP-H454系列采用磁悬浮无接触运行技术，具备高抽速、低振动及快速升降速能力，适用于Transfer、科研、离子注入、PVD及ALD等真空工艺环境。
产品采用高可靠性结构设计，可满足长时间稳定运行需求。
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适用于科研与半导体工艺的高稳定性真空方案
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-H304 | KTP-H454 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO100/CF100 | CF150 |
| 出气端 | KF25/KF40 | ||
| 吹扫口 | KF10/KF16 | ||
| 冷却水接口 | RC1/4 | ||
|
额定转速（r/min） |
48000 | ||
| 抽速（L/s） | N2 | 345 | 490 |
| He | 380 | 420 | |
| Ar |
335 |
505 | |
| 压缩比 | N2 | 3.0x108 | 3.0x107 |
| He | 2.0x104 | 2.0x104 | |
| Ar | 2.0x108 | 2.0x108 | |
| 极限压强 (Pa) | ≤5x10-7 | ||
|
最大入口压力（Pa） |
200 | ||
|
最大出口压力（Pa） |
800 | ||
| 跌落转速 (r/min) | 9000 | ||
| 额定功率 (W) | 650 | ||
|
启动压力（Pa） |
2000 | ||
| 升速时间 (min) | ＜4 | ||
| 降速时间 (min) | ＜5 | ||
| 安装角度 (°) | 任意角度 | ||
| 冷却方式 | 水冷/风冷 | ||
| 振动 (㎛) | 0.01 | ||
| 噪声 (dB) | ＜60 | ||
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控制器类型 |
分体式 | ||
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控制线长度（m） |
任意可选 | ||
| 质量(kg) | 16 | 18 | |
| 推荐前级泵抽速（L/s） |
3-10 |
||
