国产全磁悬浮90L/s分子泵
产品介绍
      磁悬浮涡轮分子泵主要用于获得高真空环境,现代高科技产品的制造过程、科学研究和工业领域应用都需要真空环境。KTP-80磁悬浮分子泵采用全主动磁悬浮技术,具有小体积、无油、微振动、任意角度安装的特点,转速高达 90,000 r/min,可产生低于 10-6 Pa的真空环境,主要应用于高分辨率质谱仪、检漏仪以及半导体行业。

产品特点


产品参数表
分子泵型号 KTP-90
法兰尺寸 进气端 ISO-K63/ISO-F63/KF40/CF63
出气端 KF10
额定转速(r/min)
90000
抽速(L/s) N2 116
He 87
Ar 124
压缩比 N2 3.0x108
He 8.0x103
Ar 6.0x108
极限压强 (Pa) ≤2x10-6
最大瞬时入口压力(Pa) 2
最大瞬时出口压力(Pa)
1200
最大前级压力(Pa)
500
跌落转速 (rpm) 14000
额定功率(W) 120
启动压力(Pa) <500
升速时间 (min) <4
降速时间 (min) <5
安装角度 (°) 任意角度
冷却方式 自然冷却/风冷
振动 (㎛) <0.01
噪声 (dB) <50
控制器类型 一体式
控制线长度 任意可选
质量(kg) 3.8
推荐前级泵抽速(L/s) 3-10


  • KTP-0090i数模
  • KTP-0090i说明书

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