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国产全磁悬浮90L/s分子泵
产品介绍
产品特点
产品参数表
| 分子泵型号 | KTP-90 | |
| 法兰尺寸 | 进气端 | ISO63 |
| 出气端 | KF10 | |
| 抽速 |
N2 |
92 |
| He | 81 | |
| Ar | 95 | |
| 压缩比 |
N2 |
1x1010 |
| He | 1x105 | |
| Ar | 1x1010 | |
| 极限真空 (Pa) | 10-7 | |
| 额定转速 (r/min) | 90000 | |
| 跌落转速 (r/min) | 12000 | |
| 升速时间 (min) | ≤5 | |
| 降速时间 (min) | ≤6 | |
| 安装角度 (°) | 任意角度安装 | |
| 冷却方式 | 风冷/水冷 | |
| 振动 (㎛) | 0.01 | |
| 噪声 (dB) | 60 | |
| 质重 (含控制器)(kg) | 3.8 | |
