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昆泰——全球领先的微特磁悬浮技术应用方案提供商

杭州昆泰磁悬浮技术有限公司,由北京航空航天大学院士团队核心成员领衔创立,是一家深耕磁悬浮技术研发、攻坚高端装备国产化的高科技企业。
       作为全球领先的微特磁悬浮技术应用方案提供商,公司拥有国内唯一突破磁悬浮复合分子泵与全主动磁悬浮纺机技术,并实现规模化量产的核心团队,成功攻克 “卡脖子” 技术瓶颈,破解了工业母机等关键核心部件的国产化难题。团队成员曾主导多项国家级重点项目,获国家技术发明一等奖1项、二等奖2项。
       昆泰已拥有77项专利,其中已授权发明专利21项。先后获评国家高新技术企业、省专精特新中小企业,并荣膺"第九届“创客中国”浙江赛区中小企业创新创业大赛第三名"等荣誉。
       目前,公司核心产品矩阵涵盖磁悬浮复合分子泵、磁悬浮纺机电机、磁悬浮氢气循环泵三大品类,全方位覆盖高端制造与新能源领域需求。

  • 面向EUV光刻与高精度量测的低振动真空解决方案
    KTP-iR90系列采用全主动磁悬浮技术,实现无接触运行与高稳定性控制,适用于EUV光刻、量测、分子束外延及先进封装等高精度真空工艺场景。产品具备低振动、无油运行及高精度转速控制能力,可满足先进半导体制造对高洁净、高稳定性真空环境的需求。
  • 面向先进真空工艺的高可靠性磁悬浮解决方案
    KTP-H454系列具备高抽速、低振动及快速升降速能力,适用于Transfer、科研、离子注入、PVD及ALD等真空工艺环境。产品采用高可靠性结构设计,可满足长时间稳定运行需求。
  • 面向先进半导体工艺的高可靠性真空解决方案
    KTP-H1601WCT采用高可靠性磁悬浮结构设计,具备快速升降速及高稳定性运行能力,适用于科研、离子注入、PVD、ALD、Etch及CVD等高负载真空工艺环境。
  • 适用于高温工艺环境的高稳定性真空解决方案
    KTP-H2811针对高温工艺环境优化设计,具备更高副产物耐受能力与高稳定性运行性能,可满足复杂半导体工艺场景需求
  • 面向先进半导体制造的高流量磁悬浮真空解决方案
    KTP-H4503系列采用高可靠性磁悬浮结构设计,具备优异的大流量抽速能力与快速升降速性能,可满足CVD、ALD、Etch、离子注入及PVD等高负载工艺环境需求。 产品支持一体式与分体式结构配置,适用于不同工艺设备及复杂安装环境,可提升系统集成灵活性与长期运行稳定性。
  • 应用场景

    基于全磁悬浮无接触运行及精密控制技术,构建面向多领域的磁悬浮核心技术平台,形成以磁悬浮分子泵、磁悬浮纺机电机等为代表的产品体系,服务先进制造核心工艺与关键装备。


    半导体制造
    应用于PVD、CVD、刻蚀、光刻、离子注入、键合等核心工艺,保障高真空环境稳定运行
    显示面板
    满足大尺寸面板制造对洁净度与连续大通量运行需求
    科研仪器
    适用于各类真空工艺设备,提供方便且可靠的真空支持
    可控核聚变及前沿领域
    适用于极端高真空与复杂工况环境,提供高稳定性与高可靠性的真空解决方案
    工业及其他应用
    拓展至工业、家用、氢能装备等领域,提供高效、稳定的磁悬浮驱动与控制解决方案





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